利用气体作为反应物,以低压和高能的环境产生电浆,去除蓝宝石晶圆表面定义出PSS图形,以及在蓝光与红黄光LED Chip 制程中进行 GaN、AlGaN、GaAs、AGIP四元素等化合物蚀刻。
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磊晶(Epitaxy)是在磊晶基版上以延续基版的原子排列方式长出一层薄膜
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高质量X射线衍射检测
电子束蒸镀设备是在高真空的腔体中,使用电子束(E-Beam)照射的方式加热材料至材料蒸发让材料附着于晶圆的表面形成薄膜镀层。
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利用二流体气压雾化方式,将胶材均匀涂布,亦可混合光色彩转换材料达到一致的色彩分布性。
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