| Micronic’s Omega6000 Series 是一系列準確及高速的鐳射光刻機台，能夠為主流的積體電路光罩提供高速批量生產解決方案。
整個設備採用基於聲控光學的光柵掃描策略來獲得極高的讀寫速度和很好的CD 控制。 Omega6800
主要應用
≥130 nm 技術的積體電路光罩
CCD/CMOS 圖像感測器光罩
FPD stepper masks（平板顯示步進光罩）
技術表現
最小線寬 450 nm
CD 精確度 15 nm
定位精確度 25 nm
Omega6080
主要應用
≥250 nm技術的積體電路光罩
舊式e-beams機台的高精確度換代產品
技術表現
最小線寬 700 nm
CD精確度 35 nm
定位精確度 40 nm
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