MP80+系統能根據不同解析度需求來搭配各種配置應用 。
這些配置系統從最小線寬1.5um到12um。MP80系統可以攜帶多種光學裝置，ACO選項能自動轉換不同光學裝置，以最佳化配置來繪製不同精度的掩膜板。金板選項配置可以校正系統registration的精度。 mura控制選項配置可以提供光掩模成像後的品質預覽顯示。以前只有在 LRS 系列才能提供此控制選項。