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Mask Laser Writer
LRS11000 Series



1100x1100mm
麥康鐳射LRS繪圖儀是為高品質鉻板顯示器光掩模而設計的。LRS11000系統能繪製足夠6代用的1100*1100mm和900*1200mm光掩範本。 LRS11000系統包含LRS11000-TFT2和LRS11000-TFT3。

LRS11000-TFT2是為TFT-LCD和濾光片光掩模而設計的繪圖儀,

LRS11000-TFT3是為灰階光掩模(GTM)和低溫多晶矽(LTPS)的 先進 TFT 光掩模而設計的。

  • 出色的mura缺陷控制
  • 不同的系統組合 , 可滿足不同客戶需求
  • 利用多束鐳射繪製方式 來提高產量

 

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