化学机械研磨设备
电子束检测设备
escan 300
离子注入机
激光绘图光刻机
光学缺陷检测设备
光学探针
探针卡
掩膜盒
热探针
测试掩膜版
电子束缺陷检测机台
eScan 300
200mm/300mm
eScan®300 是应用于半导体制造行业的最先进电子束缺陷检测机台
检测电性缺陷和关键物理缺陷的独创性设计
扫描面积大于所有其它电子束量测机台
跳跃式扫描设计便于晶粒取样，并可提高产率
超低扫描能量增强其在电性缺陷检测方面的竞争力，尤其是对于65nm和45nm先进制程
电子束镜筒采用最优化设计
具有实时检查功能，ADC提供最快的扫描结果处理
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