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激光绘图仪
LRS11000 Series



1100x1100mm
麦康激光LRS绘图仪是为高质量铬板显示器光掩模而设计的。LRS11000系统能绘制足够6代用的1100*1100mm和900*1200mm光掩模板。

LRS11000系统包含LRS11000-TFT2和LRS11000-TFT3。

LRS11000-TFT2是为TFT-LCD和滤光片光掩模而设计的绘图仪,

LRS11000-TFT3是为灰阶光掩模(GTM)和低温多晶硅(LTPS)的 先进 TFT 光掩模而设计的

  • 出色的mura缺陷控制
  • 不同的系统组合 , 可满足不同客户需求
  • 利用多束激光绘制方式 来提高产量

 

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