LRS11000系统包含LRS11000-TFT2和LRS11000-TFT3。
LRS11000-TFT2是为TFT-LCD和滤光片光掩模而设计的绘图仪,
LRS11000-TFT3是为灰阶光掩模(GTM)和低温多晶硅(LTPS)的 先进 TFT 光掩模而设计的。
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